对于化学动力学范围而言，过程的总速度由化学反应所控制；对于扩散动力学范围而言，扩散速度决定整个反应速度。由于固相反应一般都伴有物质的迁移扩散，且通常速度较慢，因此一般过程速度都由扩散速度控制。

由于固相反应过程包括界面的化学反应和相内部的物质传递两个步骤，因此，除了反应物的化学组成和结构状态及温度、压力等因素外，凡是可能活化晶格，促进物质的内外扩散作用的因素都会对反应起影响。